Для того чтобы избежать проблем, связанных с загрязнениями, производство полупроводниковых приборов размещают в чистых помещениях, отвечающих очень высоким требованиям чистоты.

Кондиционирование воздуха в чистых помещениях

Чистые помещения, среда которых не содержит загрязнений и бактерий, используются в большинстве современных производств.

Первые чистые помещения были созданы в больницах для борьбы с инфекциями, в настоящее время высокие технологии выдвигают особые требования к чистоте среды для промышленного производства. Чистые помещения применяются в электронной промышленности при производстве компьютеров, телевизоров, мониторов, в микроэлектронной промышленности при производстве интегральных схем, устанавливаемых в компьютерах и микропроцессорах систем управления, в микромеханике при производстве гироскопов, миниатюрных подшипников, считывающих устройств для компакт-дисков, в оптической промышленности при производстве линз, фотопленки, лазерного оборудования.. В таких производствах даже субмикронные частицы загрязнений могут нарушить функционирование изделий и снизить срок службы.

Есть категория производств, где недопустимо присутствие в производственной среде микроорганизмов, вызывающих возникновение инфекций. К ним относятся производственные помещения биотехнологии, генной инженерии, фармацевтической промышленности, особого медицинского оборудования (сердечные клапаны, системы кардиошунтирования), пищевой промышленности. В связи с ростом высокотехнологичных производств перечень областей применения чистых помещений будет пополняться.

Согласно стандарта ISO 14644-1 чистое помещение— это помещение, в котором контролируется счетная концентрация аэрозольных частиц, построенное и используемое так, чтобы свести к минимуму поступление, генерацию и накопление частиц внутри помещения, в котором при необходимости контролируются другие параметры, например, температура, относительная влажность воздуха и давление. Создать и поддерживать в чистом помещении требуемое качество воздуха и требуемые параметры микроклимата возможно только с помощью специальных систем кондиционирования воздуха.

ГЛАВА 2

Энергосбережение в системах кондиционирования воздуха

Организационные мероприятия, направленные на энергосбережение..............................................61

Технические мероприятия, направленные на энергосбережение.........................................................65

Факторы, определяющие потребление электроэнергии, теплоты и холода системами отопления, вентиляции и кондиционирования воздуха...................................................................66

I.    Конструктивные и объемно-планировочные решения............................................................67

II.    Наружный климат и внутренний микроклимат.......................................................................67

III.    Схемные решения СКВ и способы управления ею.................................................................68

IV.    Оборудование...................................................................................................................................71

Аккумулирование теплоты и холода.................................................................................................72

Основные направления экономии энергии и топлива в системах обеспечения микроклимата зданий.............................................................................................................................................................74


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒