Рис. 16.3. Зависимость генерации частиц от вида движения

2.    Персонал должен правильно располагаться по отношению к продукции, чтобы исключить попадание на неё загрязнений (рис. 16.4). Нельзя наклоняться над продуктом так, чтобы частицы, волокна или микроорганизмы могли падать на него. Если персонал работает в однонаправленном потоке воздуха, нельзя допускать, чтобы люди располагались между продуктом и источником чистого воздуха (т.е. фильтром), иначе поток частиц с них сможет попасть на продукцию. Метод работы следует спланировать заранее таким образом, чтобы минимизировать возможность подобных загрязнений.

3.    Необходимо предусмотреть, каким образом продукт будет перемещаться и как проводить с ним различные операции. Следует предпочесть «бесконтактные» методы, чтобы не допустить переноса загрязнений с защищенных перчатками рук на продукцию. Несмотря на то, что перчатки применяются в чистых помещениях, их всё же надо рассматривать как источник загрязнения (хотя и незначительный). Примером «бесконтактного» метода может служить использование длинных щипцов (но не рук) для того, чтобы брать изделие (рис. 16.5).

Рис. 16.4. Нельзя наклоняться над продуктом из-за опасности загрязнения

Рис. 16.5. Щипцы снижают возможность контактного загрязнения

В каждом чистом помещении необходимо применять собственные «бесконтактные» методы, чтобы быть уверенным в том, что продукция не загрязнена. На рис. 16.6 - 16.9 представлены примеры манипуляций с кремниевыми пластинами на участках производства полупроводниковых изделий. Ситуации на этих фотографиях были специально инсценированы, поскольку в обычной практике работы на предприятиях электронной промышленности ручные операции с кремниевыми пластинами исключены, а применяются вакуумные манипуляторы или роботы. На рис. 16.6 показана пластина, которую держит рука без защитной перчатки, а большой палец руки касается поверхности изделия.

Рис. 16.6. Пластина, удерживаемая рукой без перчатки

Загрязнение пластины частицами жира или кожи может привести к катастрофическим результатам. Если пластину держать за ее края (рис. 16.7), то загрязнение будет меньше, но оно все-таки попадет на поверхность изделия.

Рис. 16.7. Пластина, удерживаемая за края рукой без перчатки

Использование перчаток существенно уменьшает загрязнение, и этим методом перемещения изделий до сих пор пользуются на предприятиях, использующих пластины с большой шириной краевой зоны, и там, где допускается более низкий уровень выхода годных изделий.

Рис. 16.8. Пластина, удерживаемая рукой в защитной перчатке

На предприятиях полупроводниковой промышленности пластины следует брать с помощью вакуумного манипулятора, который касается её задней стороны (рис. 16.9). Операции, выполняемые роботами, еще больше снижают риск загрязнения изделий.

Рис. 16.9. Пластина, удерживаемая вакуумным держателем

Рис. 16.10. Нельзя прижимать материалы к себе

4.Персонал    не должен прижимать материалы к себе (рис. 16.10). Несмотря на то, что операторы в чистых помещениях работают в специальной одежде, которая по своему качеству гораздо «чище» обычных халатов и спецодежды, на ней, тем не менее, есть загрязнения. Частицы, волокна и микроорганизмы могут попасть на переносимые предметы.

5.Персонал    никогда не должен разговаривать, находясь над продуктом, поскольку в этот момент частицы слюны могут проникнуть через зазор между маской и поверхностью кожи и загрязнить изделие (рис. 16.11). Во время разговора, кашля или чихания с поверхности маски могут отделяться загрязнения. Если работающий должен чихнуть или прокашляться, необходимо отвернуться от продукта. После чихания маску обычно заменяют. Маску следует надевать поверх носа, а не ниже его, так как при дыхании через нос могут выделяться частицы большого размера.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒