13.4.2    Объем пробы

Перед измерениями следует определить минимальный объем пробы воздуха, который необходимо отобрать в каждой точке пробоотбора. Так как в более чистых помещениях частиц меньше, то в этом случае требуется больший объем пробы, чтобы быть уверенным в том, что полученные результаты находятся в пределах, установленных стандартами для данного класса. В соответствии со стандартом ISO 14644-1 и федеральным стандартом 209Е объем пробы должен быть достаточно большим для того, чтобы зарегистрировать 20 частиц самого большого из размеров, указанных в таблице классификации чистых помещений для ожидаемого класса чистоты.

В каждой точке можно отобрать одну или более проб. Объем пробы, отбираемой в каждой точке, должен быть не менее двух литров, а минимальное время отбора проб - не менее одной минуты.

13.4.3 Критерии соответствия

В стандарте ISO 14644-1 указано, что чистое помещение соответствует требуемой классификации, если:

1.    средняя концентрация частиц в каждой точке измерения ниже предельного значения концентрации, установленного для данного класса;

2.    при общем числе точек пробоотбора менее 10 рассчитанная верхняя до верительная граница счётной концентрации аэрозольных частиц в воздухе данного чистого помещения (при доверительной вероятности 95%) ниже предельного значения концентрации, установленного для данного класса.

Федеральный стандарт 209Е устанавливает почти идентичные требования.

13.5 Пример измерения в соответствии с ISO 14644-1

Для иллюстрации применения метода, заложенного в стандарте ISO 14644-1, рассмотрим такой пример:

Площадь чистого помещения 4 м х 5 м. В состоянии «построенное» чистое помещение должно соответствовать классу ISO 3 при диаметре измеряемых частиц >0,1 мкм.

Расчет производится следующим образом.

13.5.1    Количество точек пробоотбора

Площадь чистого помещения 4 м х 5 м. Следовательно, число точек пробоотбора равно J4x5 - 4,47.

Таким образом, минимальное количество точек пробоотбора, округленное до ближайшего целого числа, равно 5. Если необходимо установить класс чистоты в соответствии с федеральным стандартом 209Е, расчет следует проводить иначе. Выбор формул будет зависеть от того, однонаправленный или неоднонаправленный воздушный поток в классифицируемом чистом помещении.

13.5.2    Минимальный объем пробы

При использовании счетчика частиц со скоростью пробоотбора 28,3 л, т.е. 1 куб.фут/мин, на отбор одной пробы в каждой точке будет требоваться 42 сек. Однако ISO 14644-1 устанавливает время пробоотбора в одной точке, как минимум, равным 1 минуте.

13.5.3    Результаты измерения

Чтобы удовлетворить требованиям, изложенным в стандарте ISO 14644-1, необходимо провести измерения в 5 точках. В табл. 13.1 приводятся результаты измерений.

Таблица 13.1. Результаты измерений количества частиц в чистом помещении

Точка пробоотбора

Количество частиц >0,1 мкм в 28 литрах

Количество частиц > 0,1 мкм в куб. метре

Приведенные результаты соответствуют одному измерению в каждой точке и длительности пробоотбора в 1 минуту, хотя можно использовать средние значения нескольких замеров в одной точке или результаты более длительных измерений. Все приведенные результаты ниже предельного значения концентрации для частиц диаметром > 0,1 мкм в чистых помещениях класса ISO 3, т.е. 1000 частиц/м3. Таким образом, первая часть требований стандарта ISO удовлетворяется. Если же предельное значение концентрации превышено, то стандарт ISO допускает проведение измерений в дополнительных точках пробоотбора, равномерно распределенных по помещению. Эти результаты являются окончательными для определения класса чистоты.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒