Таблица 9.2. Периодичность испытаний чистого помещения на соответствие его классу
|
Контролируемый параметр |
Класс чистоты |
Максимальный период времени |
|
Соответствне по концентрации частиц |
< ISO 5 |
6 месяцев |
|
> ISO 5 |
12 месяцев |
|
|
Дополнительные испытания |
||
|
Скорость воздуха или объемный расход |
все классы |
12 месяцев |
|
Перепад давления воздуха |
все классы |
12 месяцев |
|
Необязательные испытания: |
||
|
Контроль течей установленных фильтров |
все классы |
24 месяца |
|
Контроль движения воздуха внутри чистого помещения |
все классы |
24 месяца |
|
Восстановление характеристик после кратковременного загрязнения |
все классы |
24 месяца |
|
Контроль течей через ограждающие конструкции |
все классы |
24 месяца |
Стандарт ISO 14644-2 задает максимальный период времени, в течение которого разрешена эксплуатация чистого помещения до проведения следующих испытаний на соответствие его классу чистоты по стандарту ISO 14644-1. Величины этих максимальных интервалов приводятся в таблице 9.2 вместе с соответствующими типами испытаний. Единственным обязательным измерением, которое надо проводить с целью подтверждения соответствия чистого помещения стандарту ISO 14644-1, является контроль концентрации частиц. Максимальный период времени между такими измерениями составляет 6 месяцев для чистых помещений пятого и более высоких классов чистоты по стандарту ISO и 12 месяцев для чистых помещений более низких классов. Измерения концентрации частиц обычно проводятся в «оснащенном» состоянии чистого помещения, но могут быть проведены и в «функционирующем» состоянии. Если в чистом помещении установлена система постоянного или периодического мониторинга концентрации частиц и перепада давления воздуха, то стандарт ISO 14644-2 допускает увеличение интервалов между испытаниями.
В случае необходимости, определяемой спецификой проводимых в чистом помещении операций, для подтверждения соответствия классу чистоты возможно проведение так называемых «дополнительных» испытаний. Это измерения объемного расхода или линейной скорости воздуха, а также перепада давления. Максимально допустимый интервал между измерениями в этом случае составляет 12 месяцев, хотя при использовании постоянного или периодического мониторинга он может быть увеличен.
Стандарт ISO 14644-2 также допускает проведение «необязательных» испытаний по соглашению между заказчиком и подрядчиком. Для таких измерений установлен максимальный период в 24 месяца. Однако в данном случае это только рекомендуемые интервалы. В результате таких испытаний требуется подтвердить:
• Правильность установки фильтров.
• Правильность движения воздуха в пределах чистого помещения по результатам визуализации воздушного потока.
• Эффективность удаления загрязнений по результатам теста на восстановление характеристик чистого помещения после кратковременного загрязнения.
• Правильность направления движения воздуха в комплексе чистых помещений (от чистого участка к менее чистому).
Все перечисленные выше тесты рассматриваются в последующих главах этой книги.
9.5 Мониторинг чистых помещений
Периодичность и типы испытаний, проводимых с целью подтверждения соответствия чистого помещения требованиям стандарта ISO 14644-1, задаются стандартом ISO 14644-2. В чистых, помещениях высокого класса, где уровень чистоты - основной показатель жизнеспособности технологического процесса, могут понадобиться дополнительные измерения или мониторинг. Их результаты должны подтверждать, что в процессе производства в чистом помещении поддерживаются требуемые параметры чистоты и что они находятся под контролем. Стандарт ISO 14644-2 предусматривает, что пользователь должен принимать решение о целесообразности мониторинга и периодичности измерений на базе оценки степени риска.