Если чистое помещение было правильно спроектировано и прошло испытания в состоянии «построенного» чистого помещения, т.е. будучи пустым, то к нему можно применить простое эмпирическое правило. Оно состоит в том, что «построенное» чистое помещение приблизительно на один класс чище «функционирующего» чистого помещения. Это не всегда верно, но с помощью нескольких дополнительных тестов, проведённых в «построенном» чистом помещении, вполне возможно спрогнозировать степень его соответствия требованиям класса чистоты для «оснащённого» или «функционирующего» состояний, Важнейшим тестом такого рода является определение качества и количества подаваемого в чистое помещение воздуха. В чистых помещениях с однонаправленным воздушным потоком соответствие необходимому классу чистоты будет, скорее всего, достигнуто, если отсутствуют течи загрязнённого воздуха через фильтры и если выдерживаются заданные скорости воздуха. В турбулентно вентилируемых чистых помещениях достижение требуемого класса чистоты в «функционирующем» состоянии менее очевидно, так как зависит от того, достаточен ли объём подаваемого воздуха для разбавления загрязнений, генерируемых оборудованием и персоналом. Однако у опытного проектировщика такой проблемы не возникает. Более того, чаще случается, что проектировщик выполняет проект «с запасом», и, в конце концов, класс чистоты превышает расчетный.

После того, как подрядчик сдаст чистое помещение, в нём необходимо установить оборудование, ввести его в строй и, наконец, начать производство. Лишь после этого можно провести измерение концентрации частиц уже в «функционирующем» чистом помещении. Измерения в этом состоянии имеют наиболее важное значение, поскольку их результаты отражают реальный уровень загрязнений, возникающий при производстве продукции. Именно измерения в «функционирующем» состоянии, скорее всего, дадут наибольшее значение концентрации частиц в помещении.

13.4 Измерения концентрации частиц (ISO 14644-1)

Класс чистоты помещения определяется предельной концентрацией аэрозольных частиц определённого размера (или размеров), значение которой не должно превышаться в данном состоянии чистого помещения. Эти предельные для данного класса концентрации рассчитываются с помощью уравнения (3.1), приведенного в разделе 3.4 этой книги. Предельные концентрации для различных классов чистоты и для различных размеров частиц приводятся в табл. 3.2, а также на рис. 3.2 в главе 3.

Чтобы определить класс чистоты помещения, необходимо проанализировать такой объём воздуха, который позволит с достоверностью подтвердить, что концентрация аэрозольных частиц в помещении находится в пределах, установленных стандартами. Количество точек пробоотбора должно соответствовать размерам чистого помещения и степени его чистоты. Чем больше и чище помещение, тем больше нужно точек пробоотбора. Объём пробы также должен быть достаточно большим, чтобы обеспечить достоверность результатов. Методы расчёта количества точек пробоотбора и определения минимального объёма пробы определены в стандарте ISO 14644-1 и поясняются ниже.

Критерии соответствия, которым должно удовлетворять чистое помещение заданного класса, также приводятся в стандарте ISO 14644-1 и указаны ниже. Аналогичные методы используются и в федеральном стандарте США 209Е, а те случаи, когда имеются отклонения от метода ISO, оговорены особо. Разумеется, любой желающий проводить испытание чистого помещения должен приобрести соответствующие стандарты (информация приведена в разделе 4.2.1.3).

13.4.1    Число точек пробоотбора и их расположение

Стандарт ISO требует, чтобы точки отбора проб равномерно распределялись по всей площади чистого помещения и находились на уровне проведения рабочих операций. Метод расчета количества точек пробоотбора, описанный в федеральном стандарте США 209Е, существенно отличается от стандарта ISO. Расчеты по стандарту 209Е различаются для чистых помещений с однонаправленным и неоднонаправленным потоками воздуха. Для получения более полной информации следует обратиться к тексту федерального стандарта 209Е. Если использовать метод расчета, изложенный в федеральном стандарте 209Е, то количество точек отбора проб получается больше, чем по расчётам в соответствии со стандартом ISO 14644-1. По моему мнению, федеральный стандарт 209Е слишком жесткий, а требования стандарта ISO более приемлемы.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒