Обычно считается, что система одновременного мониторинга является наилучшим решением, поскольку отбор проб производится в выбранных точках пробоотбора непрерывно, и факт превышения заданного уровня концентрации пропустить невозможно. В то же время это и самая дорогостоящая система. Недостатком последовательного мониторинга является осаждение частиц не только на внутренних поверхностях пробоотборных трубок, но и внутри коллектора. Однако потери в пробоотборных трубках можно уменьшить, если учесть данный фактор ещё на стадии проектирования системы1. При измерении небольших частиц (< 5 мкм) потери, обусловленные осаждением, невелики и, как правило, ими можно пренебречь. Кроме того, целью мониторинга обычно является регистрация изменений концентрации частиц, а не её абсолютных значений.

13.3 Измерения частиц в различных состояниях чистого помещения

Измерение концентрации аэрозольных частиц является одной из заключительных задач, требующих решения перед передачей чистого помещения заказчику. Результаты измерений должны подтвердить соответствие помещения классу чистоты, заложенному на этапе проектирования.

Уровень загрязнения обычно определяется для трёх функциональных состояний чистого помещения. Они определяются в стандарте ISO 14644-1 следующим образом2:

• построенное (as built): состояние, в котором чистое помещение со всей инфраструктурой полностью смонтировано, все инженерные системы подключены и функционируют, но отсутствует технологическое оборудование, материалы и персонал.

•    оснащённое (at rest):

состояние, в котором чистое помещение полностью укомплектовано технологическим оборудованием, работающим в соответствии с соглашением между заказчиком и исполнителем, но персонал отсутствует.

•    функционирующее (operational):

состояние, в котором чистое помещение функционирует установленным образом в присутствии штатного количества персонала, выполняющего свои предписанные рабочие функции.

Нередко возникает существенная задержка по времени между завершением строительства чистого помещения и началом выпуска в нём продукции. Однако подрядчик может выразить желание получить плату за строительные работы. Обычно в подобных случаях практикуется проверка соответствия «построенного» чистого помещения оговоренным условиям и, при условии положительного результата, выплата подрядчику всего или большей части вознаграждения. Проблема проверки «построенного» чистого помещения заключается в том, что в нём ещё не работает оборудование, нет персонала и отсутствует генерация аэрозольных частиц. В этом случае концентрация частиц в помещении может быть очень близка к концентрации частиц в поступающем из системы вентиляции очищенном воздухе. На практике для испытания чистого помещения желательно присутствие одного или несколько человек в качестве источников частиц. Тем не менее, концентрация частиц будет гораздо меньше, чем в «функционирующем» состоянии чистого помещения.

Подрядчик должен понимать те преимущества, которые даёт определение класса чистоты чистого помещения в состоянии «построенное». Именно в этом случае концентрация частиц в помещении минимальна, поэтому класс чистоты помещения следует определять сразу же по завершении работ. Если в строительном контракте не указано состояние помещения, в котором определяется его класс чистоты, могут возникнуть проблемы. Например, заказчик может потребовать, чтобы чистое помещение соответствовало своему классу в состоянии «функционирующего» чистого помещения, тогда как подрядчик может ссылаться на то, что требуемый класс чистоты достигается в «оснащённом» состоянии. Вот почему при заключении подрядного договора необходимо предусматривать пункт о функциональном состоянии чистого помещения при определении его класса чистоты.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒