Обычный метод сканирования основан на использовании пробоотборного устройства, подключенного к фотометру или счетчику одиночных частиц и перемещаемого над всей выходной поверхностью фильтра. Затем фильтр сканируется по периметру для того, чтобы обнаружить возможные течи между фильтрующей средой и корпусом фильтра, а также между корпусом и его креплением. Обычно пробоотборное устройство держат на расстоянии приблизительно 2,5 см (1 дюйм) от поверхности фильтра, а перемещают его таким образом, чтобы соседние площади сканирования перекрывались (рис. 12.7).

Важное значение имеет скорость сканирования. Если пробоотборное устройство движется над отверстием медленно, в него попадёт больше частиц и будет обнаружено больше дефектов. При быстром перемещении над поверхностью фильтра некоторые дефекты не удастся найти, а именно этого надо

Рис. 12.7. Сканирование фильтра более всего опасаться. Обычно достаточной является скорость сканирования не более 5 см/сек. Для случаев, когда требуется более точное определение значения скорости сканирования, в практических рекомендациях 1EST-RP-CC006 приведен научно обоснованный метод её расчета.

В случае использования фотометра первоначально измеряют концентрацию тестового аэрозоля перед фильтром и регулируют её до получения требуемого значения. Эта величина зависит от допустимого значения течи через дефект. Так, если допустима течь в 0,01% от концентрации аэрозоля перед фильтром, то требуемое значение концентрации составит 10 мг/л. Затем шкалу фотометра устанавливают так, чтобы концентрация аэрозоля до фильтра соответствовала 100%, а величина проскока (проницаемости фильтра), выраженная в процентах, считывалась прямо со шкалы фотометра. Если это значение превышает величину 0,01% от концентрации частиц до фильтра, то на данном участке поверхности фильтра расположен дефект.

Большинство течей обычно возникает на периферии фильтра. Дефект может быть вызван прокладкой между корпусом и системой крепления или возникнуть на стыках элементов корпуса фильтра, если он устанавливается со стороны чистого помещения (см. рис.12.2 и 12.3). В первом случае фильтр, скорее всего, следует снять и тщательно установить повторно. В случае монтажа фильтра со стороны чистого помещения бывает трудно отличить течь через корпус от течи между корпусом и системой крепления. В таком случае может возникнуть необходимость проверки герметичности корпуса фильтра на испытательном стенде и устранения недостатков, а также проверки наличия течей из-за системы крепления.

12.4.2    Проверка фильтров в чистом помещении с однонаправленным воздушным потоком

Проблема проверки системы фильтров, размешенных на потолке чистого помещения с однонаправленным воздушным потоком, заключается в том, что площадь потолка может быть настолько велика, что эта операция потребует значительного времени. Так, испытания фильтров в одном чистом помещении крупного предприятия по производству полупроводников могут занять несколько дней. В подобных случаях лучше применять методы, требующие меньших затрат времени. Например, можно рекомендовать использовать систему из нескольких датчиков типа показанных на рис.13.6 в главе 13. Если разместить их на тележках с электроприводом, установив пробоотборные устройства на оптимальной высоте от поверхности фильтров (т.е. от потолка) и на соответствующем расстоянии друг от друга, то сканирование можно будет выполнять в процессе перемещения тележки по комнате. Это может дать большую экономию времени.

Возможно также просканировать каждый фильтр и его корпус на испытательном стенде в чистом помещении, а затем аккуратно и бережно установить его в потолочную арматуру. Затем, после того как все потолочные фильтры установлены и включена система вентиляции, достаточно будет только проверить периферию фильтров для того, чтобы обнаружить возможные дефекты и течи между корпусом фильтра и системой крепления.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒