В большинстве чистых помещений критический участок, где изделие подвержено воздействию загрязнений, должен находиться в зоне однонаправленного воздушного потока. Это возможно, если чистое помещение целиком использует однонаправленный воздушный поток или там, где применяются ламинарные лабораторные шкафы и боксы. Однонаправленный воздушный поток движется по прямой линии, и тестирующие струи гораздо легче наблюдать, чем в случае турбулентного потока. В случае однонаправленного потока воздух, поступающий из фильтров, должен - в идеальном варианте - беспрепятственно поступать на критичный участок. Однако и в этом случае возможны проблемы, аналогичные обсуждаемым в разделе 11.2. Даже одна и тем более несколько таких проблем, которые могут быть оценены методами визуализации, скорее всего, вызовут неприемлемый рост количества загрязнений.

В еще одном полезном и эффективном методе визуализации используется трубка диаметром 2,5 см (1 дюйм) с отверстиями диаметром от 2 до 3 мм, высверленными в один ряд с интервалом 10 см (4 дюйма). Трубка размещается на подставках, и в нее из генератора подается туман. Струи, непрерывно выходящие из отверстий трубки, дадут прекрасную возможность наблюдения за однонаправленным воздушным потоком.

Визуализированный воздушный поток можно фотографировать со вспышкой, но из-за диффузии дыма фотографии обычно не получаются очень четкими. Видеосъёмка движения дыма дает более четкое представление о воздушном потоке. Видеоснимки могут быть улучшены, если отключить обычное освещение чистого помещения, а дым выделить боковой подсветкой.

11.2.1.3 Скорость и направление движения воздуха

Полная картина воздушных потоков внутри чистого помещения может быть получена путем измерения скорости и направления движения воздуха по всему сечению помещения. Помощь в этом окажет установленная в помещении сетка. Для её монтажа следует установить в помещении стойки высотой до потолка и натянуть между ними прочные нити, например, 4-фунтовые нейлоновые, которые применяются при рыбной ловле.

На нитях делается разметка с заданными интервалами, например, 10 или 20 см (4 дюйма или 8 дюймов), так, чтобы эти точки были доступны для измерения скорости и направления воздушного потока. Измерения можно проводить с помощью многонаправленного анемометра, который дает значения скорости воздуха по осям X и Y или по осям X, Y и Z. Анемометры такого типа дороги, но и обычный анемометр с прикрепленным к нему стримером, показывающим направление движения воздуха, даст вполне приемлемые результаты, особенно в случае, если воздушный поток однонаправленный, и достаточные данные, представляющие результаты в двух измерениях.

На рис. 11.5 показана двумерная картина скоростей и направлений движения воздушного потока, распространяющегося в чистом помещении от чистого

Рис. 11.5. Направление и скорость воздушного потока, распространяющегося в чистом помещении от чистого рабочего места с однонаправленным потоком воздуха рабочего места с однонаправленным потоком воздуха. Фильтр, через который на рабочее место поступает воздух, имеет размеры 3 м х 3 м (10 футов х 10 футов) и окружен по периметру стенками вертикального навеса, которые оканчиваются на высоте 2 м (6 футов) над полом. Воздушная вытяжка устанавливается на потолке по периметру наружной части вертикального навеса. На рисунке показана только половина системы. Длина стрелок, приведенных на рисунке, пропорциональна величине скорости воздуха.

Из приведенной схемы видно, что поступающий воздух достигает уровня рабочего стола, а дальнейшее движение воздушного потока в сторону вытяжки препятствует попаданию извне загрязнений на чистое рабочее место, и, соответственно, защищает от загрязнений операции, проводимые на рабочем столе.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒