Наиболее часто для мониторинга выбираются следующие параметры:

•    перепад давления,

•    концентрация аэрозольных частиц,

•    концентрация частиц-носителей микроорганизмов — в случае, если это необходимо.

Перепад давления воздуха можно непрерывно измерять и регистрировать измерительными приборами. Эта мера может понадобиться в чистых помещениях высокого класса чистоты - класса 4 ISO и более чистых. Если мониторинг проводится в чистом помещении более низкого класса, то периодичность измерений может быть равна суткам, неделе, месяцу, трём или шести месяцам; с повышением класса чистоты эти интервалы могут уменьшаться. Дополнительная информация содержится в главе 15.

Критерии для мониторинга концентрации частиц аналогичны описанным в предыдущем абзаце. Следует отметить, что при мониторинге концентрации частиц нет необходимости проводить измерения во всех точках пробоотбора, предусмотренных стандартом ISO 14644-1. Число точек пробоотбора может быть гораздо меньше, и они не обязательно должны равномерно распределяться по всему чистому помещению. При организации мониторинга точки пробоотбора следует размещать на участках, которые являются важными для производства, например, вблизи тех мест, где изделие подвержено максимальному риску загрязнения.

Благодарности

Таблица 9.2 составлена на основе информации, приведенной в стандарте ISO 14644-2 и приводится с разрешения Британского Института стандартов.

10

Измерения расхода воздуха и перепада давления

Для того чтобы разбавить и удалить загрязнения, образующиеся в чистом помещении, в него должен подаваться достаточный объем чистого воздуха. В турбулентно вентилируемом чистом помещении класс чистоты непосредственно связан с расходом воздуха: чем больше в заданное время подается воздуха, тем чище в помещении воздушная среда. В чистом помещении с однонаправленным потоком воздуха класс чистоты зависит от скорости подаваемого воздуха. Конкретные значения расхода воздуха и его скорости должны выбираться на этапе проектирования. Из этого следует, что при первоначальной квалификации чистого помещения, а затем периодически в процессе его эксплуатации необходимо проводить измерения этих параметров воздушного потока и подтверждать их корректность.

Чтобы обеспечить в чистом помещении постоянное перемещение воздуха от более чистых участков к менее чистым, между этими участками должен поддерживаться положительный перепад давления. Обычно это достигается при правильном балансе объемов подаваемого в чистое помещение и удаляемого из него воздуха, т.е. когда система кондиционирования воздуха правильно отрегулирована. Это положение рассматривается в разделе 5.1.4 данной книги.

10.1 Расход воздуха

Обычно измерения и регулировку объемов подаваемого в чистое помещение и удаляемого из него воздуха проводят специалисты фирмы, подготавливающей чистое помещение к вводу в эксплуатацию. Однако для того, чтобы убедиться в том, что эти величины продолжают оставаться в заданных пределах, можно провести простые измерения. Для этого можно использовать несколько видов измерительных приборов. Как правило, в чистых помещениях применяются приборы, которые можно разделить на следующие группы:

•    насадки для измерения объемов подаваемого воздуха;

•    анемометры для измерения скорости воздуха.

В турбулентно вентилируемых чистых помещениях объемы подаваемого и удаляемого воздуха можно измерять внутри воздуховодов системы кондиционирования воздуха. Обычно это делают специализирующиеся в данной области фирмы, используя такие средства, как, например, статическая трубка Пито.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒