Места примыкания пола к стенам обычно закрываются специальным угловым профилем. Исключение из этого правила представляют чистые помещения, где применяется машинная уборка пола.

7.6    Потолки

Очень редко в чистом помещении применяется что-либо иное, чем подвесной потолок. Необходимость обеспечения доступа к воздуховодам системы кондиционирования воздуха, трубопроводам подачи газов и электрическим разводкам, а также необходимость применения встроенных в потолок финишных фильтров и светильников, в свою очередь, диктует и необходимость использования подвесных потолков.

В традиционно вентилируемых чистых помещениях подвесной потолок может быть двух типов - легким или несущим. В пространстве между элементами несущего потолка размещают осветительные приборы и системы крепления воздушных фильтров, а оставшееся пространство заполняют глухими панелями. На рис. 7.4 приводится фотография несущего подвесного потолка, по которому можно ходить, с различными элементами чистого помещения.

Все осветительные приборы, фильтровальные ячейки и панели должны быть хорошо пригнаны, чтобы гарантировать минимальную утечку воздуха.

Если при строительстве используются компоненты не наилучшего качества, то при их стыковке должна применяться мастика или другие аналогичные средства герметизации.

В чистых помещениях с однонаправленным потоком воздуха большую часть потолка составляют фильтры. В таком случае каркас потолка монтируется из штампованного алюминиевого профиля, образующего ячейки, в которые вставляются фильтры. Эти вопросы обсуждаются в разделах 6.1.3 и 8.6 настоящей книги.

Рис. 7.4. Несущий подвесной потолок

7.7 Эмиссия летучих веществ и электростатические свойства

При производстве полупроводников и подобной им продукции использование конструкционных материалов, которые способны выделять химические вещества в газообразном виде, может создавать проблемы с загрязнениями. Полы в чистых помещениях часто выполняются из рулонного или листового пластика. Виниловые полы, изготовленные их ПВХ (поливинилхлорида), представляют собой композицию, включающую различные добавки, одна из которых, являясь пластификатором, способствует приданию материалу гибкости и пластичности. Такие пластификаторы способны выделяться в виде летучих веществ и поэтому содержащие их материалы не являются правильным выбором для чистых помещений полупроводниковой отрасли, особенно при большой площади пола. Стеновые и потолочные панели некоторых типов также могут рассматриваться как фактор риска. Еще одним критическим материалом является силиконовый герметик, применяемый для герметизации различных неплотностей и мест соединений. В подобных случаях следует закупать более подходящие герметики. Источником проблем могут стать и разнообразные клеи.

Существуют доступные методики для того, чтобы определить способность материалов к эмиссии летучих веществ. Они позволяют ускорить выделение газообразных загрязнений и оценить их количественно после конденсации на поверхности.

Если статическое электричество в чистом помещении рассматривается как проблема, то необходимо выбирать конструкционные материалы, обладающие электропроводностью, и заземлять их для диссипации электростатического заряда. Однако если материал не обладает электрическим сопротивлением, может возникнуть опасность поражения персонала электрическим током. Поэтому электрическое сопротивление материала должно находиться в диапазоне 106- 109 Ом/см.

Благодарности

Рис. 7.1. приводится с разрешения фирмы Thermal Transfer, рис. 7.2, 7.3 и 7.4 -с разрешения MSS Clean Technology.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒