На рис. 6.12 представлена схема подачи воздуха в чистое помещение без минизоны. При такой конструкции требуется значительный расход воздуха, подаваемого в виде однонаправленного патока, чтобы обеспечить необходимые условия (класс ISO 3, выделенный на рис. 6.12 белым цветом) на тех участках

Рис. 6.12. Пример чистого помещения с однонаправленным потоком, конструкция которого предусматривает сервисный коридор чистого помещения, где операторы перемещают кремниевые пластины с установки на установку. Сервисные коридоры, через которые обслуживается встроенное в перегородку оборудование, требуют меньшего количества воздуха (класс ISO 6, выделенный на рис. 6.12 тёмным цветом).

Рис. 6.13 представляет схему подачи воздуха в чистое помещение с минизоной. В этом случае внутри минизоны (обозначенной на рисунке белым цветом и имеющей класс ISO 3) обеспечивается наиболее высокое качество воздуха, в то время как на производственном участке и в сервисной зоне воздушная среда более низкого качества (класс ISO 6 или ниже). При конструкции чистого помещения с использованием минизоны общий расход подаваемого воздуха значительно меньше (см. также рис. 6.6).

Как видно из рис. 6.13, скорость воздуха в минизоне выбрана равной 0,4 м/сек (80 футов/мин). Такая скорость обычно обеспечивает низкую концентрацию частиц в функционирующем чистом помещении. Однако в минизоне отсутствует персонал, создающий турбулентные потоки, поэтому, если оборудование не является источником возмущающих тепловых потоков, может быть достаточной и более низкая скорость воздуха. Величина минимально допустимой в таких случаях скорости должна определяться методами визуализации потока, описанными в разделе 11.2.

Рис. 6.13. Чистое помещение для полупроводникового производства с системой изоляции SMIF

Кроме применения минизон для изоляции участка обработки кремниевых пластин, последние можно также транспортировать между обрабатывающими их установками в кассетах специальной конструкции (SMIF Pods), которые исключают возможность загрязнения пластин наружным воздухом. Эти кассеты загружают в установку через специальное механическое устройство сопряжения (интерфейс) стандартной конструкции (Standard Mechanical Interface Format -SMIF). Пластины обрабатывают, а затем снова загружают в кассету, которая вынимается, переносится на другую установку и загружается уже в её интерфейс. Перемещение кассеты обычно выполняет оператор, но для этих целей используются и автоматизированные системы транспортировки.

Существует несколько типов минизон, отличающихся друг от друга способами загрузки пластин в технологические установки. Если такие минизоны хорошо спроектированы (в особенности это относится к контейнерам для кассет с пластинами и загрузочным портам), то их работа не будет вызывать нареканий.

6.2.2.2 Другие области применения изоляторов

Изоляторы и барьерная технология с успехом применяются в фармацевтической и других отраслях промышленного производства. Они могут использоваться для защиты продукта от загрязнений, для защиты персонала от токсичных соединений, либо, в некоторых случаях, для того и другого. Изоляторы можно заказывать в различном конструктивном исполнении и с различными элементами. Некоторые из них представлены на рис. 6.14.

Варианты конструкции изоляторов зависят от следующих факторов:

•    Знака перепада давления (положительного или отрицательного), под которым находится рабочая зона самого изолятора относительно основного помещения;

•    Типа системы для загрузки и выгрузки материалов;


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒