Если в проекте чистого помещения предусматривается использование приточной камеры над фильтрами, то в ней нефильтрованный воздух должен находиться под более высоким давлением, чем воздух, находящийся в чистом помещении. При этом нефильтрованный воздух из приточной камеры может проникать в чистое помещение через плохо герметизированные или вовсе негерметизированные соединения. Эта проблема рассматривается в главе 11 и иллюстрируется рисунком 11.1. Подобных проблем можно избежать, если в пространстве над потолком давление меньше, чем в чистом помещении. Этого можно достичь, используя отдельные воздуховоды для подачи воздуха к фильтрам или отдельные фильтровальные модули со встроенными вентиляторами. Такие решения часто применяются в тех случаях, когда суммарная площадь фильтров меньше, чем 100% площади потолка.

6.2 Устройства с дополнительной очисткой воздуха

Устройства с дополнительной очисткой воздуха используют в чистых помещениях для того, чтобы получить воздух более высокого качества для подачи непосредственно на критические участки, где изделия или процессы открыты для воздействия загрязнений. К таким устройствам относятся стенды с однонаправленным потоком, камеры с однонаправленным потоком, изоляторы и минизоны (minienvironments). Применение устройств с дополнительной очисткой воздуха широко распространено в турбулентно вентилируемых чистых помещениях и является наиболее распространенной конфигурацией чистых помещений подобного типа. Использование такого способа позволяет обеспечить подачу чистого воздуха только в то место, где он необходим; при этом достигается значительная экономия средств по сравнению с чистым помещением с однонаправленным потоком воздуха по всему пространству.

6.2.1 Устройства с однонаправленным потоком воздуха

На рис. 6.10 представлена схема камеры с горизонтальным воздушным потоком. Это один из наиболее простых и эффективных способов борьбы с загрязнениями.

Оператор сидит около камеры и работает с материалами или проводит операции с оборудованием, размещенным на рабочем столе. Таким образом, генерируемые оператором загрязнения находятся по ходу воздушного потока за зоной критического процесса.

Существует множество типов устройств с однонаправленным потоком, габариты которых могут меняться в зависимости от габаритов технологического оборудования. На рис. 6.11 показано рабочее место с однонаправленным вертикальным потоком, организованным над линией розлива. В самом чистом помещении используется турбулентный воздушный поток, но продукт защищен от загрязнений, поскольку он находится в зоне однонаправленного воздушного потока.

Рис. 6.10. Камера с горизонтальным воздушным потоком

Рис. 6.11. Рабочее место с однонаправленным вертикальным потоком, организованным над технологическим оборудованием

6.2.2 Изоляторы и герметичные устройства

Каждый хочет добиться снижения капитальных и эксплуатационных затрат, особенно если оно будет сопровождаться увеличением выхода продукции вследствие уменьшения распространения загрязнений. В достижение этой цели очень большой вклад могут внести разработки, которые называют по-разному: изоляторы (isolators), барьерные технологии (barrier technologies) и минизоны (minienvironments). Термин «минизона» обычно используют в полупроводниковом производстве, а два других - в фармацевтической промышленности.

6.2,2.1 Применение изоляторов на предприятиях микроэлектроники

В минизонах для изоляции критического производственного участка используется физический барьер (как правило, ограждения из стекла или пластиковой пленки), а также обеспечивается подача воздуха высокого качества. В остальном объеме помещения воздух может быть более низкого качества.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒