В чистых помещениях - «танцзалах» сплошной потолок из высокоэффективных фильтров обеспечивает подачу чистого воздуха по всему пространству чистого помещения, невзирая на целесообразность; оборудование устанавливается также по всему помещению. Однако воздух высшего качества в действительности необходим только на тех участках помещения, где продукция наиболее чувствительна к аэрозольным загрязнениям, в то время как на других участках воздух мог бы быть и более низкого качества.

Рис. 6.6. Чистое помещение типа «танцзал»

Рис. 6.7. Схематическое изображение чистых помещений трех типов

На базе такой концепции можно проектировать более дешёвые чистые помещения. Одно из подобных решений состоит в том, что сервисные коридоры, соответствующие более низкому классу чистоты, чередуются с туннельными чистыми помещениями более высокого класса, где и происходит работа с продукцией. Такая концепция иллюстрируется рис. 6.7 (Ь), а на рис. 6.8 приводится фотография туннельного чистого помещения.

Рис. 6.8. Туннельное чистое помещение

Наладчики могут получить доступ к технологическому оборудованию, встроенному в перегородки, через сервисные коридоры, не входя в чистое помещение, где проводится технологический процесс с участием полупроводниковых пластин. В сервисных зонах устанавливаются более дешевые системы кондиционирования воздуха.

В чистых помещениях типа «танцзал» также можно выделить «внутреннюю» чистую зону, выгородив ее готовыми стеновыми панелями, а также обеспечив чистый туннель и сервисную зону. Такие панели можно демонтировать и вновь собирать в разных конфигурациях по мере необходимости.

В сервисную зону и на другие, менее критичные участки чистого помещения обычно подается меньшее количество воздуха, и его чистота соответствует более низкому классу. Это достигается уменьшением количества потолочных фильтров. Данный способ схематически представлен на рис. 6.9. В случае использования такого способа лучше распределить оставшиеся потолочные фильтры равномерно по всему потолку. Если фильтры группируются по одной линии или по периметру прямоугольника, то зона под фильтрами будет чище, чем периферийная. Поскольку классификация чистых помещений проводится по самым высоким значениям счетной концентрации частиц, то такой подход может снизить общий класс чистого помещения. Альтернативный этому вариант заключается в 100%-ном использовании площади потолка для размещения фильтров, но снижении скорости воздуха. Однако строительство чистого помещения такой конструкции обойдётся дороже.

Рис. 6.9. Уменьшение площади потолка, занятой воздушными фильтрами, для получения неоднонаправленного потока

В случае использования одного из этих способов рекомендуется для расчета процентного соотношения площади фильтров и площади потолка воспользоваться таблицей 6.1. Она приводится в «Практических рекомендациях IEST RP СС 012». Следует упомянуть, что приведённая там система классификации чистых помещений отличается от используемой в данной книге. Необходимо также учесть, что скорость 100 футов/мин приблизительно соответствует 0,5 м/сек.

Таблица 6.1. Скорости воздушных потоков в чистых помещениях

Класс чистоты

Тип воздушного потока

Средняя скорость (фут/мин)

Кратность воздухообмена, час'1

ISO 8 (100 000)

N/M

1-8

5-48

ISO 7 (10 000)

N/M

10-15

60-90

ISO 6 (1 000)

N/M

25-40

150-240

ISO 5 (100)

U/N/M

40-80

240-480

ISO 4 (10)

U

50-90

300-540

ISO 3 (1)

u

60-90

360-540

Выше, чем ISO 3

и

60-100

360-600

N = неоднонаправленный поток;

М = помещение со смешанным потоком; U = однонаправленный поток.

Величины, приведенные в табл. 6.1, следует рассматривать как справочные. Мне кажется, что эти расчеты дают завышенную величину объёма воздуха, необходимого для достижения заданного уровня чистоты в помещениях с однонаправленным потоком.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒