Это уравнение нельзя использовать для расчета систем с однонаправленным воздушным потоком, поскольку оно предполагает хорошее перемешивание воздуха внутри помещения. Уравнение также подразумевает, что подаваемый воздух свободен от загрязнений. Это справедливо для частиц сравнительно больших размеров, являющихся носителями микроорганизмов, и для большинства остальных частиц. Исключение составляют лишь частицы очень малых размеров, которые могут проникать через воздушные фильтры.

Проведенные мной исследования показали, что среднестатистический человек, переходящий в чистом помещении с места на место и одетый в спецодежду, неэффективно предотвращающую распространение загрязнений, например, в спецовку или лабораторный халат, может генерировать в минуту около 2х106 частиц размером >0,5 мкм, около 300 ООО частиц размером >5,0 мкм и около 160 частиц - носителей микроорганизмов. Если человек одет в правильно сконструированную одежду (комбинезон, обувь до колен, шлем и пр.), выполненную из материалов, эффективно задерживающих загрязнения, то средняя генерация частиц в минуту составляет приблизительно 106 частиц размером >0.5 мкм, 150 000 частиц размером >5,0 мкм и 16 частиц - носителей микроорганизмов. Как отмечается далее в главе 19, эти значения для различных людей и в разное время могут меняться. Информация о генерации частиц оборудованием, работающим в чистом помещении, крайне скудна, но можно считать, что эта величина достигает нескольких миллионов частиц размером >0,5 мкм в минуту.

Используя приведенное выше уравнение и учитывая скорость генерации аэрозольных загрязнений, можно оценить предполагаемую степень чистоты воздуха в турбулентно вентилируемом чистом помещении. К сожалению, из-за отсутствия надёжных данных о генерации частиц различного рода оборудованием и технологическими процессами, корректную оценку получить трудно.

Однако оценка таким способом количества бактерий, содержащихся в воздухе, будет более точной, так как обычно единственным источником поступления в воздух микроорганизмов является персонал,

5.1.2    Высокоэффективные воздушные фильтры

В чистых помещениях для очистки подаваемого воздуха используют гораздо более эффективные воздушные фильтры, чем в офисных и других помещениях. Эффективность используемых в чистых помещениях фильтров для удаления из воздушной среды частиц размером более 0,3 мкм обычно превышает 99,97%. Эти фильтры известны как НЕРА (High Efficiency Particle Air) фильтры. В производстве изделий микроэлектроники и в родственных отраслях промышленности применяются и еще более эффективные ULPA (Ultra Low Penetration Air) фильтры, т.е. фильтры с ультранизкой проницаемостью. В большинстве чистых помещений используются НЕРА или ULPA-фильтры, однако в чистых помещениях низких классов чистоты их использовать нецелесообразно. В чистых помещениях класса ISO 8 (класс 100 ООО), часто используются фильтры карманного типа с эффективностью удаления частиц размером >0,5 мкм порядка 90%.

В большинстве чистых помещений НЕРА и ULPA-фильтры устанавливаются в местах подачи воздуха в чистое помещение (см. рис. 5.1). В системах кондиционирования воздуха, применяемых в офисах и подобным им помещениях, фильтры размещают непосредственно за системой кондиционирования воздуха, а отфильтрованный воздух распределяется по системе воздуховодов к воздухораспределителям. Однако частицы загрязнений могут попадать в эти воздуховоды извне или отделяться от их поверхностей и в итоге попадать в помещение. Поэтому в чистых помещениях фильтры следует размещать в местах подачи воздуха из воздуховодов в помещение. В чистых помещения более низкого класса чистоты, например класса ISO 8 (класс 100 000), для которых количество частиц, генерируемых воздуховодами, играет незначительную роль, фильтры нередко устанавливают традиционным способом, непосредственно за центральной установкой кондиционирования воздуха.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒