Даются рекомендации по методикам поддержания чистоты поверхностей в чистых помещениях и их периодической проверке.

IEST-RP-CC020: Бланки и формы для ведения документации в чистых помещениях (Substrates and forms for documentation in cleanrooms).

Дается перечень рекомендуемых бланков и форм, применяемых в чистых помещениях для ведения документации.

IEST-RP-CC021: Испытания фильтрующих материалов МЕРА и ULPA-филъ-тров (Testing НЕРА and ULPA filter media).

Рассматриваются методы измерений фильтрующих и физических свойств материалов, применяемых для высокоэффективной фильтрации содержащихся частиц.

IEST-RP-CC022: Электростатический заряд в чистых помещениях и других контролируемых средах (Electrostatic charge in cleanrooms and other controlled environments).

Рассматриваются методы оценки эффективности способов контроля электростатического заряда.

IEST-RP-CC023: Микроорганизмы в чистых помещениях (Microorganisms in cleanrooms)

Даются рекомендации по контролю и количественным измерениям загрязнений микроорганизмами воздушной среды и поверхностей в чистых помещениях.

IEST-RP-CC024: Измерение и регистрация вибрации на предприятиях электронной промышленности (Measuring and reporting vibration in microelectronic facilities)

Рассматривается оборудование, применяемое в производстве, при измерениях и контроле интегральных схем, чувствительных к вибрации и шумам на предприятиях микроэлектроники.

IEST-RP-CC026: Эксплуатация чистых помещений (Cleanroom operations) Даются рекомендации по сохранению характеристик чистого помещения при доставке в него комплектующих и материалов, при подключении систем питания, при перепланировке, а также при монтаже и замене оборудования.

IEST-RP-CC027: Практика и методики подготовки персонала в чистых помещениях и контролируемых средах (Personnel practices and procedures in cleanroom and controlled environments)

Даются рекомендации по обучению персонала и разработке программ обучения для работы в чистых помещениях.

IEST-RP-CC029: Применение автоматизированного распыления красителей (Automotive paint spray applications)

Даются рекомендации по методам контроля загрязнений при проведении операций с распылением красителей.

IEST-RP-CC03!: Справочник строительных кодов: сборник рекомендаций по согласованию альтернативных кодов, применяемых в электронной промышленности (Building code reference handbook: a guide to alternative code compliance issues in the semiconductor industry).

Этот документ является справочником кодовых наименований, требующих альтернативного согласования при проектировании, строительстве или эксплуатации в электронной промышленности.

IEST-RP-CC034: Испытания НЕРА и ULPA-фильтров на утечку (НЕРА and ULPA filter leak tests).

Приводятся основные понятия, а также описания оборудования и методик испы-■ таний фильтров на утечку в заводских условиях и в условиях чистого помещения.

4.4.2 Руководства института IEST

В качестве приложения к стандартам ISO 14644-1 и ISO 15644-2 применимы следующие руководства:

IEST-G-CC1001: Определение концентрации аэрозольных частиц для классификации и мониторинга чистых помещений и чистых зон (Counting airborne particles for classification and monitoring of cleanrooms and clean zones). Руководство содержит информацию о методах определения концентрации аэрозольных частиц и способах отбора проб воздуха в чистых средах с помощью счетчиков частиц.

IEST-G-CC1002: Определение концентрации сверхмалых аэрозольных частиц (Determination of the concentration of airborne ultrafme particles).

Руководство дает дополнительную информацию по процедуре определения концентрации сверхмалых частиц и служит приложением к стандарту ISO 14644-1.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒