Классификация ISO основана на следующем уравнении:

Сл= 10N х [0,1/D]2-08    (3.1)

где

С - максимальная допустимая концентрация частиц (в 1 м3 воздуха), размер которых равен или больше указанного в классификации;

значение С округляется до ближайшего целого числа, используя не более трех значимых цифр;

N - класс по ISO, не превышающий 9. Допускаются промежуточные классы с минимальным интервалом 0,1 N;

D - рассматриваемый размер частиц в мкм;

0,1 -постоянная величина, с размерностью мкм.

При помощи уравнения (3.1) можно рассчитать максимально допустимую концентрацию аэрозольных частиц, т.е. предельные значения концентраций частиц любого заданного размера для каждого класса. В таблице 3.3 приводятся установленные ISO 14644-1 классы и значения предельных концентраций частиц аэрозолей в чистом помещении.

Следует отметить, что эта классификация гармонизирована с классификацией по FS 209. Если концентрацию частиц в 1 м3 из стандарта ISO разделить на 35,2, то получится концентрация в 1 кубическом футе. Соответствующий класс по FS 209 находится в таблице 3.3 в колонке 0,5 мкм. Так, класс 5 по ISO эквивалентен классу 100 или М 3.5 по FS 209.

Таблица 3.3. Классификация чистых помещений и чистых зон по ISO 14644-1

Класс no ISO

Предельно допустимая концентрация частиц (частиц/м3 воздуха), размер которых равен или превышает указанный в таблице

>0,1 мкм

> 0,2 мкм > 0,3 мкм > 0,5 мкм

> 1 мкм

> 5,0 мкм

ISO 1

ISO 2

ISO 3

1 000

ISO 4

10 000

2 370

1 020

ISO 5

100 000

23 700

10 200

3 520

ISO 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

2 93

ISO 7

352 000

83 200

29 30

ISO 8

3 520 000

832 000

29 300

ISO 9

35 200 000

8 320 000

293 000

Таблица 3.4. Соответствие классов по FS 209 и ISO 14644-1

класс по ISO 14644-1

класс 3

класс 4

класс5

класс 6

класс 7

класс 8

класс по FS 209

класс

класс

класс

класс 1 000

класс 10 000

класс 100 000

Та же информация дается в стандарте ISO 14644-1 и в графическом виде, (рис. 3.2).

Рис. 3.2. Графическое представление взаимосвязи классов чистоты помещений по ISO I4644-I, концентрации аэрозольных частиц и их размеров

В пустом помещении можно достичь очень низкой концентрации аэрозольных частиц, которая практически соответствует качеству подаваемого в него воздуха. Если в помещении находится работающее оборудование, то концентрация частиц, естественно, становится выше, однако наибольшая концентрация достигается в помещениях, где проходит технологический процесс. Поэтому класс помещения изменяется в зависимости от состояния, в котором находится чистое помещение.

Стандартно 14644-1 дает следующее определение состояний помещений1:

• построенное (as built): condition where the installation is complete with all services connected and functioning, but with no production equipment, materials, or personnel present.

состояние, в котором чистое помещение со всей инфраструктурой полностью смонтировано, все инженерные системы подключены и функционируют, но отсутствует технологическое оборудование, материалы и персонал.

•    оснащённое (at rest):

condition where the installation is complete with equipment installed and operating in a manner agreed upon by the customer and supplier, but with no personnel present.

состояние, в котором чистое помещение полностью укомплектовано технологическим оборудованием, работающим в соответствии с соглашением между заказчиком и исполнителем, но персонал отсутствует.

•    функционирующее (operational):

condition where the installation is functioning in the specified manner, with the specified number of personnel present and working in the manner agreed upon, состояние, в котором чистое помещение функционирует установленным образом в присутствии штатного количества персонала, выполняющего свои предписанные рабочие функции.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒