Чистые помещения классифицируют в зависимости от чистоты воздуха. Наиболее легко и просто воспринимается классификация чистых помещений, которая легла в основу ранних версий (от А до D) федерального стандарта США

209. Позже их заменил последний вариант 209Е, на смену которому пришел международный стандарт ISO 14644-1. Несмотря на это, старой классификацией все еще довольно широко пользуются. В старых федеральных стандартах (от А до D) количество частиц размером равным и более 0,5 мкм измерялось в одном кубическом футе воздуха, и это значение использовали для классификации помещений. Последний федеральный стандарт 209 Е перешел на метрическую систему, но в 1999 году был опубликован стандарт ISO 14644-1. Этот стандарт был принят всеми странами Европейского Сообщества, а теперь на него переходят и остальные страны.

В этой книге классификация чистых помещений приводится по стандарту ISO 14644-1, но параллельно (в скобках) указывается и класс по федеральному стандарту США 209, например, ISO 5 (100).

Рис. 3.1. Сравнение диаметров частиц

3.3 Федеральный стандарт США 209

3.3.1 Ранние редакции федерального стандарта 209 (от А до D)

Первый федеральный стандарт (FS) 209 был опубликован в США в 1963 г. и назывался «Требования к чистым помещениям и рабочим местам с контролируемой средой». Он пересматривался в 1966 (209А), 1973 (209В), 1987 (209С), 1988 (209D) и 1992 (209Е) годах. Параметры чистых помещений, классифицируемых по ранним версиям FS 209 с А по D, приведены в таблице 3.1. Класс чистого помещения определяется путем измерения числа частиц диаметром 0,5 мкм и более в одном кубическом футе1 воздуха в помещении и его сопоставления с верхним пределом для соответствующего класса.

Таблица 3.1. Классификация чистых помещений по федеральному стандарту 209D

Класс

Число

частиц в 1

куб.футе

> 0,1 мкм

> 0,2 мкм

> 0,3 мкм

> 0,5 мкм

>5,0 мкм

7,5

но

но

но

но

1 000

но

но

но

1 000

10 000

но

но

но

10 000

100 000

но

но

но

100 000

но - не определяется

3.3.2 Федеральный стандарт США 209 Е

В федеральном стандарте 209Е концентрация частиц в воздухе выражена в метрических единицах, т.е. в числе частиц в 1 кубическом метре, а класс определяется как логарифм концентрации частиц размером > 0,5 мкм в кубическом метре воздуха. Например, для помещения класса М3 предельная концентрация частиц размером > 0,5 мкм составляет 1000/м3. Логарифм 1000 равен 3, что и соответствует значению присваиваемого класса. Эта классификация представлена в таблице 3.2. Полный текст действующего варианта стандарта можно заказать в Институте исследования окружающей среды и технологии -IEST (США). Информация для контактов представлена в главе 4.

Таблица 3.2. Классификация чистых помещений по федеральному стандарту США 209Е

Предельно допустимые значения счетной концентрации частиц

Обозначение класса

>0,1 мкм Единицы объема

> 0,2 мкм Единицы объема

> 0,3 мкм Единицы объема

> 0,5 мкм Единицы объема

> 5 мкм Единицы объема

СИ англ. сист.

м3

-!

м3

фут3

м3

фут3

м3

фут3

м3

фут3

М 1

9,91

75,7

2,14

30,9

0,875

10,0

0,283

М 1,5

1 240

35,0

7,50

3,00

35,3

1,00

М 2

3 500

99,1

21,4

8,75

2,83

М 2,5

12 400

2 650

75,0

1 060

30,0

10,0

М 3

35 000

7 570

3 090

87,5

1 000

28,3

М 3,5

26 500

10 600

3 530

М 4

75 700

2 140

30 900

10 000

М 4,5

1 ООО

35 300

1 000

7,00

М 5

100 000

2 830

17,5

М 5,5

10 ООО

353 000

10 000

2 470

70,0

М 6

1 ООО 000

28 300

6 180

М 6,5

100 000

3 350 000

100 000

24 700

М 7

10 000 000

283 000

61 800

1 750

3.4 Стандарт ISO 14644-1

Международная организация стандартизации (ISO) разрабатывает серию стандартов для чистых помещений. Они охватывают широкий спектр важных вопросов, таких как проектирование, испытания, эксплуатация и биозагряз-ненно"сть чистых помещений. Первым документом этой серии стал стандарт ISO 14644-1 «Классификация чистоты воздуха», опубликованный в 1999 г. и содержащий правила классификации чистых помещений. Остальные стандарты этой серии рассматриваются в главе 4. Там же приведена информация о том, где можно приобрести стандарт ISO 14644-1.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒