Несколько соображений, которые могут оказаться полезными при проектировании систем водяного охлаждения:

1.    Некоторые типы производственного оборудования могут не выдерживать охлаждения водой под высоким давлением. Чтобы давление в системе не превышало предельное значение, между точкой выхода воды из оборудования и линией возврата воды в систему следует установить регулирующие клапаны и насос с тщательно подобранными параметрами. При таком решении будет обеспечиваться перепад давления, необходимый для работы оборудования.

2.    Вода (14°С) для охлаждения сухих теплообменников может использоваться с применением рециркуляции. Для этого потребуется постоянно добавлять охлажденную до 4°С воду в петлю, обслуживающую теплообменники, и выводить теплую воду в петлю холодильных машин. Подобная нагрузка невелика, что позволяет легко под-. держивать требуемую температуру воды с точностью в 0,5°С. Применение для этих же целей теплообменника вода-вода может быть затруднено из-за больших размеров требуемого теплообменника.

3.    В странах с холодным климатом с целью охлаждения часто можно использовать подземную или поверхностную воду. На одном из заводов в Германии удалось сократить капитальные вложения более чем на один миллион долларов и экономить более полумиллиона в год на электроэнергии, заменив все холодильные машины на системы с использованием артезианской воды (кроме систем осушки воздуха). Важно отметить, что риск загрязнения источника воды исключается установкой теплообменника между ним и системой охлаждения.

6. Материалы, используемые для трубопроводов в полупроводниковом производстве, обсуждаются в главе 13 этой книги.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В этой главе представлены самые последние разработки, используемые при проектировании чистых помещений и других систем, необходимых для успешного функционирования производства полупроводниковых микросхем на кремниевых пластинах. Были затронуты и другие составляющие проектирования, но за неимением достаточного места они не детализированы. Существует много различных концепций и много вариан тов решений. Единственно верный способ сделать правильный выбор - это глубокие размышления и здравый смысл.

Совершенно справедливо мнение, что существующие сейчас знания в области контроля микрозагрязнений позволяют обеспечить выполнение любых мыслимых требований при условии, что заданные величины могут быть измерены, т. е. для этого существуют приборы и методология.

БЛАГОДАРНОСТЬ

Рисунок 3.6 публикуется с разрешения компании Asist Technologies.

ССЫЛКИ

Workman, W. and Kavan, L. (1987). VTC’s submicron CMOS factory. Microcontamination,

5 (10), 23-26.

4

Проектирование чистых помещений для фармацевтической промышленности

Г. ДЖ. ФАРКВАРСОН И В. УАЙТ (G. J. FARQUHARSON AND W. WHYTE) ВВЕДЕНИЕ

В этой главе рассматриваются вопросы проектирования, строительства и приемки фармацевтической чистой зоны. В главе 2 приведен список существующих стандартов и руководств, а в других главах читатель найдет информацию относительно ключевых элементов, составляющих фармацевтическую чистую зону. Поэтому ниже предлагается, » опираясь на содержащуюся в этих разделах информацию, рассмотреть другие параметры и эксплуатационные требования, имеющие особое значение для создания и успешной эксплуатации фармацевтической чистой зоны.

В фармацевтической промышленности, в частности, в производстве стерильных препаратов, редко встречаются одиночные чистые комнаты. Чаще используются системы помещений, включающие комнаты различных классов чистоты, предназначенные для различных этапов производственного процесса. В качестве альтернативы или дополнения к чистым помещениям возможно использование изоляторов, особенно при асептическом производстве стерильных препаратов.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒