3.    Жидкие химикаты, хранение и распределение.

На автоматических или полуавтоматических предприятиях, выполненных по современным проектам, все жидкости подаются к точкам потребления по трубопроводам и также отводятся на восстановление или удаление из производства. Учитывая, что большинство этих жидкостей опасно для людей, и что они изготовлены с высочайшей степенью очистки, целесообразно систему их подготовки, транспортирования и утилизации выполнять замкнутой.

Существует много фирм, включая главных поставщиков химикатов, чья специализация - проектирование, монтаж и обслуживание таких систем. Эта область интенсивно развивается - изменяется номенклатура химикатов, меняется материал труб и т. п. - поэтому лучшим решением для проектирования таких систем является выбор специализированной компании.

4.    Вытяжные системы.    '

Это обычная инженерная проектная проблема с необычными требованиями.

Считается, что системы удаления тепла и паров органических растворителей достаточно просты при условии, что системы, содержащие токсичные газы, выполнены отдельно, а уровень растворителей остается под контролем. Некоторые материалы, используемые в технологии, являются канцерогенами; содержащие их выбросы должны проходить через скрубберы и удаляться надлежащим образом.

Также считается, что сравнительно легко спроектировать вытяжную систему для кислотных паров, исключая, пожалуй, удаление N0 , которые очень трудно извлекаются из газовых потоков, и HF, после улавливания которого, жидкость из скруббера должна быть собрана и удалена как токсичный жидкий материал. Особое внимание следует уделить предотвращению возможности смешения жидких отходов скруббера вытяжки токсичных газов с газовыми системами, содержащими кислоты, т. к. токсичные газы будут регенерироваться. С точки зрения безопасности никогда нельзя игнорировать присутствие арсина, диборана, фосфина, стибина и т. п. Каждая система удаления токсичных веществ всегда имеет свою собственную систему управления; поэтому они небольшие. Удаляемые продукты должны пройти через высокотемпературный окислитель или жидкостной окислительный реактор. Затем они поступают в высокоэффективный водяной скруббер и далее выбрасываются в атмосферу с помощью наружного центробежного вентилятора. Жидкие отходы от скрубберов и реакторов обеззараживаются как токсичные материалы.

Некоторые обнадеживающие результаты были получены недавно при пропускании токсичных материалов через реактор со слоем гранулированного абсорбента. На выходе из реактора регистрировались только двуокись углерода и водяные пары. Когда надежность этого метода будет достаточной для того, чтобы уверенно предсказывать содержание токсичных газов в выбросах, подобное оборудование будет с энтузиазмом принято пользователями.

5. Системы водяного охлаждения.

Для полупроводникового производства требуется огромное количество охлаждающей воды. По меньшей мере, применяется четыре ее типа:

•    Охлажденная вода - нормальная, оборотная вода (без соединений хрома);

•    Вода из напорной башни (29°С мах) - используется в больших количествах для охлаждения технологического оборудования;

•    Охлажденная вода (14°С) для управления температурой в теплообменниках (сухих);

•    Охлаждающая вода с высоким сопротивлением для технологического оборудования, в котором используется высокочастотный индукционный нагрев. Температуры и давления в таких системах сильно отличаются в зависимости от оборудования; размеры таких систем обычно небольшие.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒