Таблица 1.2. Упрощенная классификация чистых помещений по федеральному стандарту 209D

Класс чистоты по 209D 1

1000

10 ООО

100 000

Число частиц > 0,5 мкм в куб.футе 1

1000

10 000

100 000

Классификация ISO основана на следующем уравнении:

С„ = 10N х [0,1 / D]2'08 , где С„ - максимальная допустимая концентрация частиц (в 1 м3 воздуха), размер которых равен или больше указанного в классификации; значение С„ округляется до ближайшего целого числа, используя не более трех значимых цифр;

N - класс по ISO, не превышающий 9. Допускаются промежуточные классы с минимальным интервалом 0,1 N;

D - рассматриваемый размер частиц в мкм;

0,1 - постоянная величина, с размерностью мкм.

Уравнение выбрано таким образом, чтобы предельные концентрации частиц для размера 0,5 мкм в федеральных стандартах 209 совпадали с соответствующими концентрациями из стандарта ISO. Это позволяет гармонизировать пересчет классов чистоты между указанными системами классификации.

Диаграмма на рис. 1.4, взятая из стандарта ISO, показывает в графическом виде значения предельно допустимых концентраций частиц для различных классов чистоты помещений. Она приведена для наглядности, при вычислении точных значений следует использовать приведенное выше уравнение. В стандарте ISO также изложен способ классификации чистых помещений на основании числа сверхмелких (ultrafine) частиц (< 0,1 мкм) и крупных «макрочастиц» (> 5 мкм).

Более подробно содержание федерального стандарта 209Е и нового стандарта ISO будет рассмотрено во второй главе. Во всех главах книги классы чистоты помещений приводятся одновременно в соответствии с устаревшим стандартом 209D и новой классификацией ISO.

Рис. 1.4. Графическое представление классов чистоты помещений по стандарту ISO 14644-1

Необходимо четко понимать, что уровень загрязнения воздуха зависит от происходящих в помещении процессов, в ходе которых образуются частицы. В пустом помещении можно достичь очень низкой концентрации аэрозольных частиц, которая практически соответствует качеству подаваемого в него воздуха и, соответственно, эффективности воздушных фильтров. Если в помещении установлено оборудование и тем более, если оно работает, то концентрация частиц увеличивается, однако наибольших значений она достигает в помещениях, где проводятся все предусмотренные технологическим процессом операции. Поэтому класс чистоты изменяется в зависимости от состояния, в котором находится чистое помещение1:

•    построенное (as built):

condition where the installation is complete with all services connected and functioning, but with no production equipment, materials, or personnel present, состояние, в котором чистое помещение со всей инфраструктурой полностью смонтировано, все инженерные системы подключены и функционируют, но отсутствует технологическое оборудование, материалы и персонал.

•    оснащенное (at rest):

condition where the installation is complete with equipment installed and operating in a manner agreed upon by the customer and supplier, but with no personnel present.

состояние, в котором чистое помещение полностью укомплектовано технологическим оборудованием, работающим в соответствии с соглашением между заказчиком и исполнителем, но персонал отсутствует.

•    функционирующее (operational):

condition where the installation is functioning in the specified manner, with the specified number of personnel present and working in the manner agreed upon, состояние, в котором чистое помещение функционирует установленным образом в присутствии штатного количества персонала, выполняющего свои предписанные рабочие функции.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒