(б) Пространство, образованное между фальшполом и бетонным строительным основанием.

Это удовлетворительное решение, создающее довольно много возможностей для использования дополнительного пространства под полом. Оно должно иметь достаточную высоту, чтобы проходящий воздух не испытывал существенного сопротивления (не более, чем перепад давления на самом фальшполе), и при этом сохранялась возможность разместить под полом необходимое оборудование, например, фильтры, регуляторы, переходники, а также системы распределения технологических сред.

Фальшпол должен выдерживать нагрузку минимум в 16,8 кН/м2и иметь:

•    сплошную систему стрингеров;

•    четыре установочных винта в основании;

•    устройство регулировки уровня (с помощью запорных гаек);

•    ряд Z-образных укосов, закрепляющихся рядами;

•    основание, закрепленное на полу либо эпоксидным клеем, либо на анкерах.

После установки опор фальшпола бетонный пол должен быть покрыт кислотостойким водонепроницаемым покрытием. Кроме того, должна быть установлена система датчиков для обнаружения и оповещения о случаях пролива различных жидкостей. Вся система фальшпола не должна приводить к усилению вибраций от бетонного строительного основания и строительных конструкций. В действительности, правильно установленный фальшпол должен существенно снижать вибрации, поскольку структура фальшпола, связанная с полом здания, превращается из вибрирующей мембраны в пространственную конструкцию.

Огнезащита

Из-за применения растворителей, газов и других огнеопасных веществ, которые часто используются при высоких температурах и давлениях, свойственных полупроводниковому производству, помещениям обычно присваивается самая высокая категория пожароопасности. Это требует установки максимально контролируемой системы спринклеров (с минимальными промежутками между ними) как над фильтрами, так и под ними, а также под фальшполом, если там расположены трубопроводы с огнеопасными жидкостями и газами. Альтернативная система - газовое пожаротушение с использованием двуокиси углерода или хладонов - слишком дорога для больших незакрытых зон, и обычно предназначается для расположенных под полом зон высокого риска.

Система контроля и сигнализации, включающая как инфракрасные, так и ультрафиолетовые датчики, должна охватывать всю производственную зону, а также пространство под полом. Система контроля должна быть выполнена таким образом, чтобы срабатывать при получении сигнала как от датчиков на пламя, так и от датчиков на дым, подавать сигнал тревоги и, кроме того, иметь время задержки срабатывания достаточное, чтобы удостовериться, что аварийный сигнал не является ложным. Пауза служит и для эвакуации персонала из опасной зоны до того, как начнутся действия по ликвидации пожара. Естественно, необходимо учитывать, что любая остановка технологического процесса обходится очень дорого. Поток воды, заливающий технологическое оборудование, микропроцессоры и электронные датчики; тепловой удар от воздействия холодной двуокиси углерода, попадающей на нагревательные элементы; даже резкая остановка высокотемпературных аппаратов, подобных диффузионным печам, CVD-реакторам и т. п., могут привести к их серьезным повреждениям и ущербу.

Стены

Стены, используемые в полупроводниковом производстве, обычно подразделяют на два типа:

1. Наружные стены. Они могут быть выполнены чрезвычайно разнообразно - от обычных строительных элементов до использования сводчатых конструкций. Тип стен может зависеть от вида производимой продукции. В эту категорию включают и стены, используемые в целях безопасности и для обеспечения максимальной защиты от радиоизлучений (рис. 3.9). Они обеспечивают ослабление на 100 дБ попадающих на них сигналов, а также самопроизвольного радиоизлучения, возникающего при работе телефонных линий, от электрических проводов или проникающего через системы водопровода, вентиляции и радио. Необходимо предусмотреть также защиту оборудования, имеющего компьютерное управление, от электромагнитного излучения (рис. 3.10). В этом случае внутренняя поверхность стен должна быть отделана металлическими панелями с эмалевым покрытием. Все стыки металлических панелей должны быть герметизированы.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒