Определите, как должно строиться чистое помещение. Успех проекта чистого помещения в значительной степени зависит от того, что положено на бумагу, и как это построено. Однако часто игнорируется одна особенность, хотя она и находится в сфере компетенции проектировщика - это определение момента, когда и на какой стадии строительства должна быть задействована система контроля за чистотой. Возможно, это самое главное указание, которое может сделать проектировщик. От его своевременности зависит количество строительной грязи, которая в дальнейшем может серьезно повлиять на производство. Грязь, внесенная в помещение во время строительства, может выделяться в ходе технологических процессов и, таким образом, предопределить успех или провал будущего предприятия. Мои рекомендации заключаются в том, что процедуры по обеспечению чистоты надо начинать реализовывать сразу же после окончания «грязных» строительных работ до монтажа систем обслуживания, различных коммуникаций и установки технологического оборудования. Именно с этого момента необходимо проводить постоянную очистку для предотвращения неприятностей, которые могут возникнуть позже. Процедуры по обеспечению чистоты должны включать: вакуумную уборку (с использованием щеток) всех поверхностей, влажную очистку с использованием неионогенных поверхностно активных веществ, споласкивание деионизованной водой и окончательную протирку - вплоть до момента пуска систем обеспечения. Соблюдение таких процедур даст возможность достичь проектных параметров чистоты в помещении буквально за секунды после включения системы, а впоследствии иметь дело лишь с незначительными отклонениями от их значений.

ОСОБЕННОСТИ ПРОЕКТИРОВАНИЯ Планировка

Проектирование чистых помещений для полупроводниковой промышленности развивается уже много лет. На рис. 3.1 представлена конструкция чистого помещения, которая была популярна в последние годы.

Рис. 3.1. Чистое помещение с вертикальным однонаправленным потоком воздуха, часто используемое в производстве полупроводниковых приборов

Однонаправленный воздушный поток движется от потолка, состоящего сплошь из высокоэффективных фильтров, вниз через пол чистого помещения. В некоторых проектах возврат воздуха осуществляется через камеры, расположенные под фальшполом, в то время как в других вариантах (см. рис. 3.1) имеются большие подпольные постранства для технического обслуживания. Тип чистого помещения, представленный на рис. 3.1, часто называют ballroom (буквально, «танцзал»), поскольку такое чистое помещение представляет собой единый большой объем. Подобное решение типично для помещений площадью более 1000 м2. Оно дорого, но легко адаптируется к новым задачам.

В чистом помещении зального типа потолок из высокоэффективных фильтров снабжает чистым воздухом всю комнату безотносительно к реальным нуждам. Понятно, что воздух лучшего качества необходим там, где находится изделие, а в других местах будет приемлем и менее чистый воздух. На базе такой концепции были спроектированы более дешевые чистые помещения, в которых сервисные коридоры, соответствующие более низкому классу чистоты, чередуются в виде «гребенки» с чистыми туннелями более высокого класса, где и происходит работа с продукцией (см. рис. 3.2).

Рис. 3.2. Схематическое изображение чистых помещений трех типов

Оборудование встроено в перегородки так, чтобы подвод трубопроводов находился в сервисных коридорах. Обслуживающий персонал может получить доступ к технологическому оборудованию, не входя в чистое помещение, где проводится технологический процесс с участием полупроводниковых пластин. В чистых помещениях зального типа это также возможно, но требует установки дополнительных стеновых перегородок, обеспечивающих выделение чистых туннелей и сервисной зоны. Такие перегородки можно демонтировать и вновь собирать в разных конфигурациях по мере необходимости.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒