В 1991 для осуществления международного сотрудничества и стандартизации была организована Ассоциация инженеров по контролю микрозагрязнений (АСИНКОМ). Россия начала участвовать в работе ISO с 1993 г. Первая российская классификация, ГОСТ Р 50766-95 «Чистые помещения. Классификация. Методы аттестации. Общие требования», была разработана АСИНКОМ и одобрена Госстандартом в январе 1996 г.

Новый стандарт ISO по классификации чистых помещений

Стандарт ISO 14644-1 был принят в 1999 г. Стандарт разделен на разделы в зависимости от того, является ли стандарт обязательным для выполнения (нормативная часть), или он обеспечивает информацией, которая может использоваться, если это потребуется (информативная часть). Стандарт содержит следующие разделы:

Предисловие

Объясняет, что документ - один из серии стандартов ISO по чистым помещениям.

Общие положения

Область применения, определения, классификация.

(нормативная часть)

Как продемонстрировать, что чистое помещение соответствует требованиям стандарта.

Приложение А (информативная часть)

Определения.

Приложение В (информативная часть)

Графическая иллюстрация классов чистоты помещений.

Приложение С

Метод измерений для определения класса чистоты

(нормативная часть)

с помощью счетчика отдельных (дискретных) аэрозольных частиц.

В этой части обсуждаются: ■ ,

(a)    счетчик аэрозольных частиц;

(b)    условия для проведения испытаний;

(c)    определение числа точек отбора проб;

(d)    вычисление объема отбираемой пробы (минимум три);

(e)    процедура отбора пробы;

(f)    запись результатов;

'

(g)    вычисление 95%-ного верхнего доверительного интервала;

(h)    интерпретация результатов.

Приложение D

Процедура вычисления 95%-ного верхнего доверительного

(нормативная часть)

интервала концентрации частиц.

Приложение Е (информативная часть)

Примеры вычислений класса чистоты.

Приложение F

Определение концентрации и размеров частиц вне

(информативная часть) диапазона размеров, принятого для классификации, то есть для ультрамалых частиц и макрочастиц.

Приложение G

Процедура последовательного отбора пробы. Приводятся:

(нормативная часть)

(a)    общая часть и ограничения;

(b)    основные операции;

(c)    процедура отбора пробы;

(d)    рисунки для пояснения.

Таким образом, обязательная для выполнения часть стандарта включает в себя общие положения и три приложения. В разделе общих положений описано следующее:

1. Состояния помещения.

В обязательном для выполнения разделе «Определения» описаны три состояния чистого помещения1:

a.    построенное (as built):

condition where the installation is complete with all services connected and functioning, but with no production equipment, materials, or personnel present, состояние, в котором чистое помещение со всей инфраструктурой полностью смонтировано, все инженерные системы подключены и функционируют, но отсутствует технологическое оборудование, материалы и персонал.

b.    оснащенное (at rest):

condition where the installation is complete with equipment installed and operating in a manner agreed upon by the customer and supplier, but with no personnel present, состояние, в котором чистое помещение полностью укомплектовано технологическим оборудованием, работающим в соответствии с соглашением между заказчиком и исполнителем, но персонал отсутствует.

c.    функционирующее (operational):

condition where the installation is functioning in the specified manner, with the specified number of personnel present and working in the manner agreed upon.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒