Наиболее часто используемые материалы - это фторполимеры и, в частности, поливинилиденфторид (ПВДФ). Хотя на начальных этапах процесса очистки воды наиболее часто используются традиционные пластмассы типа подивинилхлорида (ПВХ) и акрилонитрилбутадиенстирола (ABS), для финишного контура предпочтителен ПВДФ из-за присущих ему преимуществ, несмотря на более высокую стоимость.

Эти преимущества сводятся к тому, что ПВДФ:

•    поддается сварке плавлением и не требует клея;

•    обеспечивает минимальный рост бактерий;

•    устойчив к стерилизующим агентам, таким как пероксид водорода;

•    является инертным материалом, который не выделяет в систему органические или ионные загрязнения (после первоначальной отмывки).

И хотя сам ПВДФ не выделяет питательных веществ, способствующих росту бактерий, очень важно обеспечить непрерывный поток воды в системе водоподготовки, поскольку бактерии с большей вероятностью будут расти в статических условиях. Система должна быть спроектирована так, чтобы исключить образование застойных зон в трубопроводах и оборудовании в целом и обеспечить скорость движения воды в любой части установки не менее 1 м/с. Теоретически это возможно, однако на практике ее не так легко обеспечить, особенно для ответвлений трубопроводов. Оборудование для очистки жидкостей не требует постоянного поступления воды, так как эти процессы по своей сути являются циклическими, и необходимо предусматривать линии рециркуляции для каждого случая с тем, чтобы гарантировать непрерывность потока воды в системе очистки. Неиспользованная вода возвращается в начало финишного контура установки, обычно в емкость-хранилище высокочистой воды, где она смешивается и циркулирует со свежепоступившей водой.

Для завода по обработке пластин с уже спроектированной и действующей системой водообеспечения часто требуются изменения технологии очистки воды, чтобы удовлетворить требованиям бизнеса или для внедрения нового оборудования, имеющего совершенно другие рабочие характеристики. В таких случаях кардинальное изменение проекта системы может оказаться невозможным и вполне допустимы компромиссные решения.

На рис. 11.10 показана предлагаемая схема установки получения сверхчистой воды. Некоторые стадии могут быть опущены, существуют также и другие установки, которые должны быть добавлены, чтобы справиться со специфичными загрязнениями. Однако если вы посетите современную установку получения сверхчистой воды, весьма вероятно, что вы найдете нечто очень похожее на то, что представлено на рис. 11.10.

Измерительные приборы

Уменьшение размеров следующих друг за другом поколений полупроводниковых приборов представляет серьезную проблему не только в части удаления загрязнений, но также и для разработки приборов-анализаторов, способных измерять все уменьшающийся уровень загрязнений. Времена, когда электросопротивление было единственным мерилом качества воды, давно прошли, и анализаторы ТОС (общего окисляемого углерода), диоксида кремния, растворенного кислорода и отдельных ионов с уровнем ниже единиц ppb уже стали стандартом.

Непрерывный мониторинг условий протекания процессов является жизненно важным на установке по производству сверхчистой воды. Начальные ступени установки более терпимы к изменениям технологии, чем финишный контур, тем не менее мониторинг здесь все же необходим для обнаружения аномальных изменений в исходной воде. Это может быть достигнуто с приемлемой стоимостью, поскольку уровень загрязнений (на этом этапе) высокий и легко обнаруживается. Однако стоимость обеспечения on-line мониторинга резко возрастает в системе распределения, где стоимость одной точки контроля сейчас приближается к 100 000 фунтов стерлингов. При этом указанная стоимость не включает измерение содержания отдельных ионов (именно на этот вид измерений приходятся как основные капитальные затраты, так и оплата труда высококвалифицированного персонала). Если возможности для серьезных капиталовложений отсутствуют, то контроль технологических параметров можно реализовать, заключив субконтракт со специальной лабораторией.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒