Рис. 9.18. Элемент потолочной панели типа сэндвич для помещений с высоким уровнем чистоты со стационарной подвеской к ферме потолочного перекрытия

Рис. 9.19. Деталь осветительного элемента для помещений с высоким уровнем чистоты

2. Потолок каркасного типа состоит из системы опорных профилей из легкого металла, образующих ячейки, имеющие крепежные элементы для установки светильников, глухих панелей и фильтров. Кроме того, они имеют отверстия для кабелей, спринклеров и т. д. Корпуса фильтров устанавливаются в ячейки потолка очень плотно, а все места соприкосновения с элементами каркаса потолка герметизируются для предотвращения проникновения воздуха и частиц. Основные элементы такой системы показаны на рис. 9.20.

Рис. 9.20. Вариант каркаса потолка с глухой панелью

На рис. 9.21 и 9.22 представлены два примера герметичных систем каркаса потолка.

Еще одним вариантом герметичной системы потолка, который часто используется в чистых помещениях полупроводниковой промышленности, является система, в которой профили каркаса потолка имеют желоб, заполненный жидким гелеобразным герметиком. При этом фильтр и глухие панели, в отличие от предыдущих систем, имеют острый нож, который погружается в гель, и тем самым исключает вероятность образования неплотностей. Такой тип системы потолка обсуждался в главе 8 этой книги и иллюстрировался рис. 8.16, 8.17 и 8.18.

Для чистых помещений с пониженными требованиями к уровню чистоты достаточно, когда элементы потолка устанавливаются на несущие опорные профили без герметизирующих или уплотняющих приспособлений (в этом случае лампы либо подвешиваются, либо встраиваются). В некоторых случаях вполне приемлемым решением является потолок, выполненный из подвесных панелей. Однако при этом отсутствует пространство над потолком, необходимое для обслуживания или замены элементов потолка, поэтому на время проведения таких работ производство в чистом помещении должно останавливаться.

Рис. 9.21. Каркас потолка: соединение со стеной и расположение элементов

* Несущий опорный каркас с секционным профилем, обеспечивающим герметичный узел прохода электрических и пневматических коммуникаций. ** Элемент может быть фильтром, глухой панелью, светильником и т. д.

Рис. 9.22. Каркас потолка: крепление высокоэффективных фильтров

КОНСТРУКЦИИ И МАТЕРИАЛЫ, ДОПУСТИМЫЕ ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В ЧИСТЫХ ПОМЕЩЕНИЯХ

В таблице 9.1 представлены примеры строительных материалов, которые могут применяться в чистых помещениях различного назначения. Табл. 9.2 представляет строительные компоненты, которые можно использовать в чистых помещениях и которые обладают хорошими антистатическими свойствами для минимизации электростатического заряда. По достижении чистым помещением состояния «построенное» необходимо проверить электрические характеристики этих материалов, чтобы убедиться в их эффективности. Для помещений с высоким уровнем чистоты, где антистатическая отделка поверхностей не может решить все проблемы, связанные с минимизацией электростатического заряда, следует применять ионизацию воздуха.

Таблица 9.1. Примеры компонентов, используемых при строительстве чистых помещений

Чистые помещения с высоким уровнем чистоты

Материалы, для поверхностей в системах стен и потолка

•    Нержавеющая сталь с полированной, шлифованной или электрополированной поверхностью

•    Анодированный (толщина анодно-окисной пленки >20 мкм) или покрытый эмалью алюминий

•    Тонколистовая сталь, окрашенная эмалью или порошковой краской

•    Панели из проводящего пластика


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒