Уже на заре технологии чистых помещений разработчики осознали проблему точечных дефектов и предложили метод сканирования лицевой поверхности блока установленных фильтров, который позволяет обнаружить не только дефекты в фильтрующем материале, но и неплотности и протечки в прокладках и системе крепления фильтров. Этот метод рассматривается ниже, в разделе «контроль установленных фильтров». Производители высокоэффективных фильтров, столкнувшись с перспективой обнаружения в ходе таких проверок дефектов, которые не были выявлены при измерении общей эффективности с помощью пенетрометра Q-107, были вынуждены разработать специальные установки для сканирования фильтров, предназначенных для чистых помещений. Со временем этот метод испытания фильтров из необязательной, дополнительной процедуры превратился в промышленный стандарт, описанный в практических рекомендациях IEST-RP-CC-001 «НЕРА и ULPA-фильтры». Хотя в рекомендациях IEST приводятся методики проверки фильтров для различных значений общей эффективности, заказчики обычно требуют провести проверку фильтров тем же способом (возможны лишь незначительные послабления), который будет использоваться при контроле уже смонтированных фильтров. В рекомендациях IEST описываются способы проверки с помощью фотометров и счетчиков частиц. Обе процедуры рассмотрены ниже.

Использование фотометра. На рис. 8.12 показаны три блока, которые обязательно должны входить в состав установки для сканирования фильтра при его производстве -генератор, испытательный стенд с вентилятором и фотометр. Чаще всего в качестве генератора используют распылитель, в котором сжатый воздух под давлением 138-172 кПа подается в резервуар с жидкостью через сопло (или сопла) Ласкина.

Такой аэрозоль является полидисперсным в отличие от монодисперсного аэрозоля, который генерируется в пенетрометре Q-107. Функция распределения частиц аэрозолей по размерам слабо зависит от распыляемой жидкости. Для диоктилфталата (DOP) при указанных выше давлениях получается примерно следующее распределение частиц по массе:

•    99% частиц менее 3 мкм

•    95% частиц менее 1,5 мкм

•    92% частиц менее 1 мкм

•    50% частиц менее 0,72 мкм

•    25% частиц менее 0,45 мкм

•    10% частиц менее 0,35 мкм

Установки для испытания фильтров могут отличаться размерами и дизайном, но их основные узлы все равно будут соответствовать элементам, показанным на рис. 8.12. Существенным свойством любой подобной установки является качественное перемешивание DOP-аэрозоля в воздушной камере стенда для получения на входе фильтра однородного тестового потока. Важную роль играет кожух или дефлектор, устанавливаемый со стороны выхода воздушного потока из фильтра. Он препятствует проникновению в пробоотборник частиц из окружающего фильтр пространства, что могло бы исказить результаты проверки. Перед испытаниями фильтр закрепляется между воздушной камерой стенда и кожухом (дефлектором). Для некоторых испытаний фильтр может устанавливаться внутри воздушной камеры (выходной плоскостью наружу). Такое крепление позволяет проверить не только фильтрующую среду и ее герметичность по отношению к корпусу фильтра, но и герметичность самого корпуса.

Рис. 8.12. Установка для детектирования точечных дефектов в фильтре

В старых моделях фотометров оператор устанавливал «нулевую точку», относительно которой в дальнейшем велся отсчет, размещая пробоотборник в потоке воздуха за испытуемым фильтром. Современные фотометры имеют для этих целей собственный встроенный фильтр. Следующим шагом является измерение концентрации аэрозоля до фильтра. Для этого в воздушной камере стенда имеется специальное отверстие. Если измеренная величина окажется недостаточной, проводят коррекцию режима работы генератора, увеличивая давление воздуха на его входе до тех пор, пока концентрация аэрозоля до фильтра не достигнет требуемой величины. После этого фильтр сканируется пробоотборником сначала по периметру, а затем по всей поверхности фильтрующего элемента таким образом, чтобы области, проверяемые пробоотборником, перекрывались. Фотометр должен фиксировать все протечки, концентрация частиц в которых более 0,01% от значения концентрации аэрозоля до фильтра.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒