БЛАГОДАРНОСТИ

Рисунки 1 Л-1.1 публикуются с разрешения Zellweger Luwa Ltd, Юстер, Швейцария. ЛИТЕРАТУРА

Barnett, W. J., Castrucci, P., Schneider, R. К. and Williams, М. M. (1995). Cost reduction of cleanrooms with 100% minienvironments, Proceedings 41st IES Annual Technical Meeting, Anaheim, 30 April-5 May. Institute of Environmental Sciences, Mt. Prospect, Illinois, USA, pp. 134-141.

Bruderer, J. (1983). An economic and efficient air distribution method for the establishment of a clean working environment, Swiss Pharma, 5, 11a, 17-21.

Grunder, H. (1980). Ueber ein neues System der gezielten Anwendung von Laminar-flow (On a new concept of localised application of laminar-flow), Reinraumtechnik, IV, 7-10, Swiss Society for Contamination Control, Zurich, Switzerland.

Livingston, J., Art, D., Martin, R. and Traylor, F. M. (1995). Are minienvironments more economical for new construction?, Microcontamination, March, 33-39.

Lynn, Ch., Sears, М., Stanley, E. M. and Startt, S. (1993). Cleanroom facilities-Cost and budget development, CleanRooms '93 Conference, Boston, 22-25 March.

O'Reilly, H. and Rhine, B. (1995). The role of minienvironments in redefining microelectronic manufacturing economies, Proceedings 41st IES Annual Technical Meeting, Anaheim, 30 April-5 May. Institute of Environmental Sciences, Mt. Prospect, Illinois, pp. 130-133.

Patel, B., Greiner, J. and Huffman, T. R. (1991). Constructing a high-performance, energy-efficient cleanroom, Microcontamination, February, 29-32,70-71.

Rakoczy, T. (1987). Die Kosten von Reinraumanlagen und ihre wirtschaftliche Optimierung (The cost of clean room systems and their economic optimization), Reinraumtechnik, VIII, 39-43, Swiss Society for Contamination Control, Kiisnacht, Switzerland.

Ruffieux, P. (1995). Application examples of isolator technology II-Preparation of solutions and filling in sterile drug manufacturing, Pharma Technologic Journal, Isolator Technology in Aseptic Manufacturing, 16, 1, 43-54.

Schicht, H. H. (1982). Application of energy-saving clean room systems in research and manufacture of micro-electronic components, Proceedings of the 6th International Symposium on Contamination Control, Japanese Air Cleaning Association, Tokyo, pp. 87-90.

Schicht, H. H. (1988). Engineering of cleanroom systems-General design principles, Swiss Contamination Control, 1, 6, 15-20; 2, 1, 27-39.

8

Высокоэффективная фильтрация воздуха

С. Д. КЛОКЕ И У. УАЙТ (S. D. KLOCKE AND W. WHYTE)

ВВЕДЕНИЕ

Для того чтобы гарантировать удаление из подаваемого в чистое помещение воздуха частиц, которые могут загрязнить продукцию, воздух должен фильтроваться. До начала 80-х годов для фильтрации воздуха в чистых помещениях применялись HEPA (High Efficiency Particulate Air) фильтры, т. к. на тот момент они были наиболее эффективными из коммерчески доступных фильтров. В настоящее время НЕРА-фильтры все еще используются в большинстве чистых помещений, однако потребности одной из отраслей современного производства интегральных схем достигли уровня, требующего применения более эффективных фильтров. Такие фильтры получили название ULPA (Ultra Low Penetration Air) фильтров.

Высокоэффективные фильтры, которые используются в чистых помещениях, выполняют двойную функцию: они удаляют из воздуха мелкие частицы и - в помещениях с однонаправленным потоком воздуха - формируют воздушный поток. Расположение высокоэффективных фильтров и расстояние между ними, также как и величина скорости воздуха, оказывают влияние как на концентрацию взвешенных в воздухе частиц, так и на формирование застойных зон, аккумулирующих аэрозоли, и непредусмотренных путей миграции частиц по всему чистому помещению. Сочетание вентилятора и высокоэффективного фильтра является лишь начальным условием формирования однонаправленного потока воздуха. Для того чтобы обеспечить действительно качественный однонаправленный воздушный поток, необходим правильный баланс всех его составляющих.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒