•    в два раза для чистых помещений класса 10 000 (класс ИСО 7);

•    в три раза для чистых помещений класса 100 (класс ИСО 5).

Для случая, когда вместо простой рециркуляции воздуха необходимо использовать системы регенерации или рекуперации восстановленного тепла, стоимость экономии не приводится.

Влияние на стоимость применения минисред и изоляторов

Хотя в проектах чистых помещений минисреды и изоляторы используются только для отделения технологических процессов от источников загрязнений и персонала, в действительности их применение может быть более комплексным, а также выгодным в плане снижения себестоимости. Это достигается, с одной стороны, за счет того, что сами минисреды занимают мало места, а с другой стороны, они зачастую способны функционировать в среде с относительно невысоким уровнем чистоты воздуха: например, в электронной промышленности класс чистоты 1 (класс ИСО 3) внутри минисред может быть достигнут в чистом помещении класса 10 000 (класс ИСО 7). Это, в свою очередь, позволяет упростить требования к одежде персонала.

При сравнении оборудованного для полупроводникового производства помещения зального типа класса чистоты 1 (класс ИСО 3) с другим способом оснащения, связанным с применением минисред, выяснилось, что при применении минисред затраты на строительство чистого помещения снизились на 25 - 40 % (например, Barnett et al., 1995). Это в значительной степени возмещает увеличение затрат на технологическое оборудование. Таким образом, размер капиталовложений остается практически на прежнем уровне - стоимость полностью оборудованного производственного помещения снизится примерно на 2 - 4%. Но при этом очень значительным будет снижение эксплуатационных расходов: общий расход воздуха будет достигать только одной трети, а тепловая нагрузка - только двух третей от величины, необходимой для помещения зального типа. Так, сообщалось, что для типового производства с площадью помещения 3700 м2 полная экономия за год составляет 800 000 долларов США по затратам на энергию, плюс дополнительная экономия 1,7 млн. долларов США в год вследствие менее строгих правил в отношение спецодежды персонала.

Тем не менее, проявление этой экономии очень незначительно по сравнению с другими финансовыми преимуществами, получаемыми при использовании минисред в микроэлектронном производстве в результате ускоренного ввода в строй, то есть сокращения времени, необходимого для того, чтобы оборудование достигло своих полных производственных возможностей, а также в результате увеличения объемов выработки (O'Reilly and Rhine, 1995; Livingston et al., 1995).

Аналогичную экономию можно наблюдать при использовании изоляторов в асептических процессах в фармацевтической промышленности (Ruffieux, 1995). В указанной работе сообщается, что использование изоляторов позволяет снизить капитальные затраты на 10 - 15% по сравнению с обычными чистыми помещениями. В дополнение к этому, автор ожидает снижения эксплуатационных расходов на 40%, главным образом, благодаря уменьшению циркуляции воздуха, а также упрощению схемы переодевания персонала.

ЗАКЛЮЧИТЕЛЬНЫЕ ЗАМЕЧАНИЯ

Большие различия в уровнях затрат на создание и эксплуатацию чистых помещений открывают широкое пространство для технической мысли. Для нахождения оптимального решения этой проблемы от проектировщиков требуется подробное изучение возможных вариантов проектов и основных критериев выбора. Последовательное систематическое обдумывание задачи, серьезный анализ специфических условий предназначенного для использования здания, доскональное знакомство с каждой поставленной проблемой, в том числе и с точки зрения пользователей чистых помещений - все это требует привлечения широкого спектра различных профессиональных дисциплин и является еще одним важным и необходимым условием успешной работы. В заключение необходимо отметить, что проект завоюет сердце заказчика только в том случае, если он сможет обеспечить - в серьезной борьбе с другими соискателями - наилучший компромисс между эффективностью и безопасностью, с одной стороны, и капитальными и эксплуатационными затратами, с другой стороны - или, другими словами, если проект обеспечит лучшее соотношение цена/затраты.


⇐ назад к прежней странице | | перейти на следующую страницу ⇒